Có 3 vấn đề cơ bản ảnh hưởng đến sự rò rỉ của bộ lọc khí HEPA đó là:

Đặc tính không phù hợp

Yếu tố này chính là nguyên nhân hàng đầu trong hầu hết các vấn đề thiết bị lọc khí HEPA bị rò rỉ. Thông số vận tốc bề mặt lọc đặc trưng được đưa ra bởi các nhà sản xuất lọc HEPA. Với lọc HEPA sử dụng cho các khu vực cấp độ sạch Class A là 0,45m/s hoặc 0,5m/s và khi áp dụng thực tế giá trị vận tốc lớn nhất nhất định không được vượt quá vận tốc mà nhà sản xuất quy định. Do vận tốc bề mặt ảnh hưởng đến sự rò rỉ nên vận tốc được ứng dụng lớn nhất phải được kiểm tra thực bởi các nhà sản xuất lọc và đảm bảo phù hợp trong mọi điều kiện ảnh hưởng, đồng thời chắc chắn rằng hiệu suất điều kiện ảnh hưởng đến hiệu suất lọc và sự rò rỉ.

Vận tốc bề mặt lọc

Mặc dù vận tốc bề mặt lọc được tính từ 0,45 đến 1,5m/s nhưng vận tốc gió thực tế tại công trình lắp đặt cao hơn thông thường là từ 0,6 đến 0,7m/s. Trong một vài trường hợp con số này có thể lên đến 0,9m/s. Với những thay đổi này sẽ ảnh hưởng sâu sắc đến hiệu suất lọc.

Kích cỡ hạt

Lọc HEPA H13 được kiểm tra với hạt bụi ở mức 0,3micron DOP trong trường hợp khu vực Class A trong tiêu chuẩn ứng dụng yêu cầu kiểm tra bởi máy tạo hạt bằng di động với mục đích để tao những nồng độ đầu dòng phù hợp. Tuy nhiên một vấn đề sẽ xảy ra với máy này là tạo ra những kích cỡ hạt mật độ dày hoặc dạng MPPS. Nếu một nhà máy sản xuất lọc đã kiểm tra lọc phù hợp được hiệu suất là 99,99% với hạt 0,3micron sau đó phun nhiệt thì việc rò rỉ sẽ xuất hiện khi dải test MPPS thấp hơn 0,3micron.

Từ những yếu tố căn bản trên có thể thấy rằng sự rò rỉ của lọc khí HEPA sẽ ảnh hưởng rất lớn đến quá trình sản xuất trong phòng sạch. Điều này yêu cầu các nhà sản xuất, cung cấp và người sử dụng cần phải kiểm tra thường xuyên bộ lọc để tránh xảy ra những tình trạng sai sót đáng tiếc.